雅科贝思以超薄气浮平台，铸就半导体检测核心精度引擎
在全球半导体产业持续向先进制程迈进的时代，检测环节的精度已成为决定芯片性能与良率的关键。2026年3月25日至27日，SEMICON China盛会将于上海举行，行业领先的精密运动控制企业雅科贝思将携其创新成果——超薄高刚性XYZT气浮运动平台重磅亮相，为高端半导体检测设备提供至关重要的核心精度引擎。
该平台直指半导体检测的严苛需求：纳米级定位精度、极小的速度波动与跟随误差，以及复杂的多轴协同运动。为达成这些目标，雅科贝思进行了突破性设计，其核心在于“超薄”与“高刚性”的完美统一。平台整体高度被压缩至仅125毫米，这种扁平化布局与高集成度设计，显著降低了运动质量与重心，从而大幅提升了系统的动态响应速度与抗外界干扰能力。实测数据印证了其卓越性能：X轴双向重复精度达43纳米，Y轴达59纳米，完全满足高端检测的精度门槛。
为实现长行程下的精密运动保障，XY轴采用了雅科贝思自研的ALM-T系列无铁芯直线电机。其无齿槽力、体积轻薄、推力密度高的特点，有效确保了运动过程中的低速度波动与高动态响应。而在驱动端，平台则按需定制，T轴搭载双弧形音圈电机，Z轴配备专利设计的重力磁平衡圆柱音圈电机，进一步优化了运动控制性能。
平台的基石在于其先进的气浮设计与仿真能力。雅科贝思通过小孔与微槽组合的节流方式，并灵活选用磁吸或真空预载来提升气膜刚度。基于详尽的仿真与实测数据积累，团队不断优化气浮参数，并为后续的机构解耦与模态分析提供坚实依据。这种从设计、仿真到测试的全链条能力，使得雅科贝思能够为客户提供真正意义上的交钥匙解决方案，包括可选配皮米级光栅尺、高柔线缆及主动减振器等高端组件。
从核心部件自研到整体方案定制，雅科贝思此次展出的超薄XYZT气浮平台，不仅是单一产品的展示，更是其深厚技术集成与工程化能力的集中体现。在半导体制造迈向更高精度的征程中，雅科贝思正以其创新的精密运动平台，持续为产业升级注入核心驱动力。
