参数
| 电机参数 | 上轴 | 下轴 | T轴 |
|---|---|---|---|
| 电机型号 | AUM4-P5-S4-K-NH-3.0-NFB-V201 | AUM4-P5-S6-K-NH-3.0-NFB-V201④ | ACW170-52-P-J7-H9D-3.0-FB-RT-11800-1000X-P5-Z17 |
持续推力(自冷)@100℃① 持续z(自冷)@100℃[T轴]① | 284 N | 331 N | 2.8 Nm |
峰值推力 峰值转矩[T轴] | 1605 N | 1872 N | 9.7 Nm |
力常数 ±10% 转矩常数 ±10%[T轴] | 30.9 N/Arms | 36 N/Arms | 0.056 Vpeak/rpm |
| 反电势常数 ±10% | 25.2 Vpeak/(m/s) | 29.4 Vpeak/(m/s) | 0.056 Vpeak/rpm |
| 相间电阻@25°C ±10%② | 1.22 Ω | 1.75 Ω | 2.76 Ω |
相间电感 ±20%③ | 0.96 mH | 1.44 mH | 1.65 mH |
| 持续电流(自冷) @100°C① | 9.2 Arms | 9.2 Arms | 4.2 Arms |
| 峰值电流 | 53 Arms | 52 Arms | 14.7 Arms |
| 最高母线电压 | 330 Vdc | 330 Vdc | 330 Vdc |
| 电磁周期 | 60 mm | 60 mm | 16 2P |
| 机械参数 | 上轴 | 下轴 | T轴 |
| 有效行程⑤ | 360 mm | 370 mm | 360 mm 连续 |
| 双向重复定位精度⑥ | ±0.3 μm | ±0.3 μm | ±1 arcsec |
| 定位精度 (补偿后) | ±0.5 μm | ±0.5 μm | ±2 μm |
| 平面度 | 5 μm | 5 μm | - |
| 直线度 | 7.5 μm | 7.5 μm | - |
| 俯仰 | 15 arcsec | 10 arcsec | - |
| 俯仰重复精度 | ±0.5 arcsec | ±0.5 arcsec | - |
| 偏摆 | 10 arcsec | 10 arcsec | - |
| 偏摆重复精度 | ±0.5 arcsec | ±0.5 arcsec | - |
| 正交 | ±5 arcsec | ±5 arcsec | - |
| 径向跳动 | - | - | ±5 μm |
| 典型位置稳定性⑦ | ±2 nm | ±2 nm | ±0.007 arcsec |
| 最大加速度 | 10 m/s² | 10 m/s² | 4000 deg/s² |
| 最大速度 | 1 m/s² | 1 m/s² | 600 deg/s² |
| 额定负载 | 2.5 kg | 2.5 kg | 2.5 kg |
注：
①测量时环境温度为25ºC，取决于散热环境。
②电阻测量采用直流电流，含0.5米标准线缆。
③电感测量频率1kHz，AUM系列电感浮动范围较大为±40%是因为三相电感不同，样册标定数值为最大值与最小值的平均值，对于每一相电感，浮动范围为±20%。
④下轴为双电机并联。
⑤行程可达450mm。
⑥ISO 230 -2
⑦3 sigma，采样时长2s，采样频率2kHz；T轴位置稳定性可达±0.003arcsec，详情请联系cust-service@akribis-sys.cn。
★不含卡盘。
★相关参数规格如有变动，恕不另行通知。
产品特性
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01堆叠XYT平台
堆叠XYT平台
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02
高精度，高刚性，快速运动整定
高精度，高刚性，快速运动整定
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03
静态抖动小
静态抖动小
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04
圆晶平台
圆晶平台
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05
无齿槽力
无齿槽力
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06
真空适用版本
真空适用版本
图表
PGS-XYT 外形尺寸图
PGS-XYT 外形尺寸图
PGS-XYT 行程尺寸图
PGS-XYT Z轴机械接口图
PGS-XYT T轴机械接口图
订购规则
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PGS-XYT
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