2026 SEMICON China

展会预告 | 全“芯”赴约！雅科贝思携新品重磅亮相2026 SEMICON China

3 月 25-27 日，全球半导体行业年度盛会SEMICON China 2026将在上海新国际博览中心盛大启幕，雅科贝思将重磅展出超薄 XYZT 气浮运动平台，以创新技术为半导体检测设备打造核心精度引擎，诚邀行业伙伴莅临 E7-7355 展位共探精密制造新未来。

核心产品

超薄高刚性XYZT 气浮运动平台

半导体检测要求精密运动台具备纳米级定位精度，较小速度波动及跟随误差，多轴运动。基于此，同时为了减少运动质量与降低运动质心，雅科贝思设计了超薄高刚性XYZT气浮运动平台。

雅科贝思的高刚性XYZT气浮运动平台，摆动式双向重复检测结果显示，X轴双向重复精度43 nm，Y轴双向重复精度59 nm。气浮平台相关核心部件均自研，为客户定制整套解决方案。

核心优势-轻薄

XYZT轴关键部件及气浮面布局示意图

ZT轴组件及气浮面分布示意图

气浮平台整体高度仅125mm，低质量与高刚度有利于提高运动系统动态响应与抗干扰能力，空间上扁平的结构有利于降低重心，减小运动质量。XYZT轴全部采用气浮导向，并根据工况配置磁吸或真空预载以提升气浮刚度。XY轴气浮采用磁吸预载。ZT轴嵌在口字形的开口横梁中，Z轴嵌入在T轴内部，整体浮在大理石表面，可以实现高度扁平化。

按需定制驱动端：T轴搭载双弧形音圈电机，Z轴配备重力磁平衡圆柱音圈电机。（专利设计）

整体高度示意图

核心优势-电机

长行程精密保障

XY 轴长行程搭载 ALM-T 系列无铁芯轻薄直线电机，有效降低速度波动与运动干扰。ALM采用轻薄设计，线圈及磁铁空间占用小，质量更轻，其无齿槽力设计，体积轻薄、推力密度高的特点更适用于低速度波动和高动态响应的应用。

核心优势

气浮设计与仿真

核心优势-定制

气浮运动平台交钥匙解决方案

雅科贝思具备气浮设计，仿真，测试分析能力。气浮研发与电机研发强强组合，可根据客户需求，定制各种类气浮运动平台，亦可选配皮米级高精度光栅尺，小应力的高柔扁平线缆，主动减振器等，为客户提供整套交钥匙解决方案。

展会邀约

3 月 25-27 日，上海新国际博览中心，2026 SEMICON China， 雅科贝思在现场将全方位展示超薄 XYZT 气浮运动平台的技术细节与性能优势，专业团队随时提供定制化解决方案咨询与技术对接服务。

诚邀半导体行业同仁莅临雅科贝思 E7-7355 展位，共话纳米级精密运动控制技术发展，携手解锁半导体检测设备精度新高度，共启产业创新新征程！