圆晶平台
采用高精度光栅尺与无铁芯直线电机,具备高刚性与高稳定性,可实现纳米级定位精度,能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求 。
按类别浏览
圆晶平台分类
[0/5]产品对比
*最少2个,最多5个
采用高精度光栅尺与无铁芯直线电机,具备高刚性与高稳定性,可实现纳米级定位精度,能有效应对晶圆加工、检测等环节对超精密定位与平稳运动的严苛需求 。
圆晶平台分类
[0/5]产品对比
*最少2个,最多5个
TOP