堆叠平台
采用直驱技术与高精度光栅尺反馈,以 XYZ 等多轴堆叠紧凑结构呈现,内置直线电机,具备高刚性与稳定性,适用于3C电子、半导体等对空间紧凑性与运动精度要求严苛的领域 。
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采用直驱技术与高精度光栅尺反馈,以 XYZ 等多轴堆叠紧凑结构呈现,内置直线电机,具备高刚性与稳定性,适用于3C电子、半导体等对空间紧凑性与运动精度要求严苛的领域 。
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