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轴类加工系统
雅科贝思激光微加工解决方案，具体包括：软件开发、控制系统开发、加工设备定制等。围绕前沿的激光工艺，以雅科贝思的电机、控制器、精密平台、机床等产品为基础，提供灵活的激光加工解决方案，满足光伏、锂电、半导体、3C等行业对激光加工设备的定制化需求。
参数规格
| 子系统 | 配置 | 描述 |
|---|---|---|
| 平台 | 大理石，直线电机，直驱转台 | 转台速度600RPM，X轴行程1200，重复精度±1μm |
| 振镜 | 2D扫描振镜 | 跳转+整定 < 5ms |
| 控制器 | SGS 5220+SGS GJm | 振镜与平台控制 |
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★方案：利用激光在聚氨酯辊轴上加工等间距的沟槽，沟槽间距根据晶圆厚度设定。
