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XRZ系列

XRZ120-15

XRZ系列为气缸配重水平Z轴,模组安装面水平设计,音圈电机推动整个台面在Z向升降。通过气缸平衡负载重力,减少所需的电机出力。搭配高精度光学编码器,提高模组的精度参数。

参数

电机参数数值单位
电机型号AVM30-HF-15-
持续推力17.96N
峰值推力
98.8N
力常数 ±10%24.7N/Arms
反电势常数 ±10%24.7Vpeak/(m/s)
机械参数数值单位
行程15mm
分辨率SINCOS(4096X)μm
重复定位精度±0.2μm
水平直线度±0.5μm
垂直直线度±0.75μm
俯仰角10.0arcsec
横摆角10.0arcsec
额定负载5.0kg
空载运动质量1.3kg
空载总质量3.3kg
材料黑色阳极氧化铝-
最大容许侧倾力矩1.5Nm
最大容许俯仰力矩1.5Nm
最大容许横摆力矩1.5Nm


注:

★所有测量数据基于模组安装在8μm大理石台面上。

   所有测量数据基于雅科贝思测量标准。











图表

XRZ120-15尺寸图

XRZ120-15尺寸图

XRZ120-15 负载和气压曲线图

XRZ120-15 负载和气压曲线图

订购规则

  • XRZ120-15

    XRZ120-15

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