产品特性
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01
XY中空设计
XY中空设计
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02
XY行程288mm*288mm
XY行程288mm*288mm
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03
XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
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04
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5μm,绝对定位精度2μm
XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5μm,绝对定位精度2μm
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05
典型应用领域:4/6/8寸晶圆检测
典型应用领域:4/6/8寸晶圆检测