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XYZ微型显微镜平台 PNG-04.png
定制平台分类

XYZ微型显微镜平台

*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

产品特性

  • 01

    XY轴为直线电机,集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75μm

    XY轴为直线电机,集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75μm

  • 02

    Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺

    Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺

  • 03

    反馈,重复定位精度±0.5μm

    反馈,重复定位精度±0.5μm

  • 04

    典型应用领域:8寸,12寸晶圆检测

    典型应用领域:8寸,12寸晶圆检测

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