产品特性
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01
产品特性
产品特性
用于920mm*1500mm 液晶面板封装
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02
机械结构
机械结构
横梁:X1-X5 &Z1-Z5 共10轴
大理石底座:双电机驱动+Rz校正+LiftPin设计+陶瓷Chuck盘,4轴
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03
满足激光区域
满足激光区域
XY=1600*1500 mm
Vmax=500 mm/s
Z向静态抖动0.1 μm
XY绝对定位精度±5 μm
机台重量接近14吨,上海工厂生产
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04
大理石平台尺寸
大理石平台尺寸
2850*2450*2500mm典型
应用领域:G6.5 OLED 激光封装