电机介绍：
AWM系列电机采用无铁芯技术，属于无铁芯直线电机，具有真空兼容，无齿槽力，较大的持续推力和峰值力。
持续推力 Fcn =4.5N ~ 414.8N
峰值推力 Fpk =22.3N ~ 2986.3N
产品特色：
真空兼容 (RGA测试，高达1x10 Torr)
无铁芯技术，无齿槽力
高持续推力和峰值力
高电机常数
多线圈长度可选
应用工况：
适用于点到点微米级和纳米级快速定位，可满足5m/s甚至更高速度，行程不受限，高/低速速 度波动苛刻工况，精准力控制。
典型案例：前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板，生物医疗设备有真空要求场合， 同时可满足高速高精定位、轨迹跟随或速度控制苛刻各类检测需求。
