在线留言
如果您有任何的建议或意见
请联系我们
cust-service@akribis-sys,cn
+86 21 58595800
留言
公司新闻
直线电机是否适用于洁净室?
日期:2022-03-22 16:51

直线电机是适用于洁净室的,事实上,许多前端半导体应用都使用直线电机。如:在晶圆制造工厂,高精度光刻机放置在在等级为10的洁净室里,直线电机应用于其中XY定位平台,使用纳米分辨率来实现亚微米级精度。

直线电机是否适用于洁净室?

直线电机越来越受欢迎在更多的应用领域中,直线电机也应用在其它领域中,如半导体后端包装、测试、拾取与放 置、硬盘的装配与测试等等,许多应用都是在洁净室里。

在洁净室里,相比较传统的滚珠丝杠驱动,直线电机的优势:驱动机构没有接触。因此没有磨损而导致粒子生成。直线电机不需要润滑剂。润滑剂也是污染源。

并且,在一些应用中,担心直线电机磁场会破坏敏感的组件。一般来说,在一些应用中,推荐使用无铁芯直线电 (AUM), AUM电机磁轨的磁场是闭合的,磁通量外泄的基本可以忽略不计。

对于有铁芯直线电机(如ACM),在磁轨50-60  mm的范围内会有磁场,磁场强度会随着距离的增加而衰减,而且特定区域的磁场是恒定的,不会产生射频干扰。

所属类别: 新闻资讯
0.018329s