超音波电机X轴微型平台规格介绍：

1.驱动电机 : TULA50　2个 

2. 行程 ： ±2.5mm

3. 分辨率：0.1μｍ/脉冲 （ABZ相）

 (选择：0.1μm 0.5μm、1.0μm、5.0μm）

4. 重复定位精度 ： ±0.5脉冲  (分辨率：0.5μm、1.0μm 、5.0μm时：±3脉冲)

5. 推力 ： 60gf

6. 保持力 ： 300～350gf

7. 重量 ： 约5g

8. 平台尺寸 ： 8×13mm