超音波电机 XY轴平台系列规格:
·XYDT50-045型 规格
1.驱动电机 : TULA50 4个
2. 行程 : 4mm
3. 分辨率 : 1.0μm (选择:0.1、0.5、1.0、5.0μm)
4. 重复定位精度: ±3 脉冲 (分辨率:0.1μm 选择时 : ±5脉冲)
5. 推力 : 60gf
6. 保持力 : 250gf
7. 重量 : 约22g
8. 平台尺寸 : 22×26mm
·XYDT70-105型 规格
1.驱动电机 : TULA70 4个
2. 行程 : 10mm
3. 分辨率 : 1.0μm (选择:0.1、0.5、1.0、5.0μm)
4. 重复定位精度 : ±3 脉冲 (分辨率:0.1μm 选择时 : ±5脉冲)
5. 推力 : 60gf
6. 保持力 : 250gf
7. 重量 : 约 26g
8. 平台尺寸: 22×26mm