超音波电机XDT70-155型规格:
驱动电机 : TULA70 2个
行程 : 15mm
分辨率 : 1.0μm (选择:0.1、0.5、1.0、5.0μm)
重复定位精度 : ±3脉冲 (分辨率: 0.1μm 选择时 : ±5脉冲)
推力 : 60gf
保持力 : 300gf
重量 : 约14g
平台尺寸 : 22×26mm