音圈电机是一种不需要任何机械传动环节,就可以将电能转化为直线运动机械能的直线电机。由于具有结构简单、体积小、响应速度快、定位精度高、易于控制等优越性能,音圈电机广泛应用于国民经济的诸多领域。特别在精密工作台这种高精密领域具有突出优势,相信随着研究的不断深入,音圈电机将会得到更进一步的发展。
XY精密工作平台,是光刻机、引线键合机、PCB钻孔等半导体器件制造和封装仪器的核心部件,工作台对驱动设备的速度和精度要求极高,音圈电机具有响应速度快和精度高的优点,在有关半导体制作的领域得到了广泛应用。
光刻机和引线键合机是芯片、半导体制作封装的核心设备,我国与西方国家有着较大差距,因此也有着较大的提升空间。