直线电机具有结构简单、适合高速直线运动、初级绕组利用率高、无横向边缘效应、容易克服单边磁拉力问题、易于调节和控制、适应性强以及高加速度八大优势，所以其在高精密加工中的应用，具有十分显著的优势。

超精密加工是制造业中的前沿科学，在工作尤其是国防工业中起着举足轻重的作用，巡航导弹的惯性制导装置陀螺仪，雷达的关键器件波导管，卫星仪表上的精密轴承、大型集成电路等无不涉及到超精加工。在超精机床中，为进行机床加工误差的在线补偿，以提高加工的形状精度；为进行某些特殊的非轴对称表面的加工，都需要微量进给装置，高精度微量进给装置现已成为超精机床的重要关键装置。

在超精密加工中，为了要加工出形状精度高的非球曲面，要求超精机床的进给驱动系统有很高的分辨力，达到每脉冲移动量为0.01μm，国外已有几家著名大公司拥有该产品，但对我国禁运。目前国内国防科技大学、哈尔滨工业大学、清华大学等正开展此方面的研究。超声波电动机具有小型轻量、响应速度快、无电磁干扰以及低速大转矩等特点，行程在10cm范围内可取代传统的电磁电机。

采用直线电机的直线运动，运动机构由于具有响应快、精度高的特点，已成功地用于异型截面工件（汽车发动机活塞、波瓣形轴承外环滚道、活塞环及凸轮等）的计算机控制的精密车削和磨削加工。与传统的采用“靠模”加工异型内外圆轮廓的方法相比，具有编程修改灵活、加工精度高的特点，十分适合多品种、小批量产品的加工。