电机介绍：

无铁芯直线电机AWM系列电机采用无铁芯技术，具有真空兼容，无齿槽力，较大的持续推力和峰值力。

持续推力 Fcn =4.5N ~ 414.8N

峰值推力 Fpk =22.3N ~ 2986.3N

产品特色：

· 真空兼容 (RGA测试，高达1x10 Torr)

· 无铁芯技术，无齿槽力

· 高持续推力和峰值力

· 高电机常数 多线圈长度可选

应用工况：

适用于点到点微米级和纳米级快速定位，可满足5m/s甚至更高速度，行程不受限，高/低速速 度波动苛刻工况，精准力控制。

典型案例：前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板，生物医疗设备有真空要求场合，同时可满足高速高精定位、轨迹跟随或速度控制苛刻各类检测需求。