雅科贝思直线电机分为无铁芯直线电机和有铁芯直线电机,由线圈和磁轨两部分组成,具有高速、高加速度、匀速、高稳定性、洁净、运行时低噪音、免维护以及特别适合长行程等特点,可以显著提升机械的功能和性能。
AUM系列适用于
· 点到点,微米级及纳米级定位
· 各类要求高/低速速度波动及运动轨迹要求苛刻场合
· 高精度力控制
典型案例:晶圆/液晶面板/光伏/电池搬运、测试、检则、组装;激光加工设备、测量仪器,基因测序等等医疗器械
AWM系列适用于
· 真空环境下的亚微米级和纳米级定位
典型案例:半导体前道/后道工序中的真空测量设备
ALM系列适用于
· 点到点,微米级及纳米级定位
· 各类要求高/低速速度 波动及运动轨迹要求苛刻场合
· 高精度力控制
典型案例:前道和后道工序晶圆检测设备、精密组装、测试设备
ACR系列适用于
· 点到点,微米级及
· 纳米级定位
· 各类要求高/低速速度波动及运动轨迹要求苛刻场合
典型案例:晶圆/液晶面板检测、激光加工设备、测量仪器