产品中心
XYZ 平台用于晶圆测量
XY十字叠加结构,内置直线电机,步进/扫描 Z轴采用高精度音圈电机,用于光学调焦,重复定位精度±0.2um XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um
  • 产品介绍
  • 规格参数
  • 尺寸图
  • 订购信息

产品特性:

XY十字叠加结构,内置直线电机,步进/扫描

Z轴采用高精度音圈电机,用于光学调焦,重复定位精度±0.2um

XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um


典型应用领域:6/8寸/12寸晶圆检测


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

相关产品
XY点胶平台
在线留言
如果您有任何的建议或意见
请联系我们
cust-service@akribis-sys,cn
+86 21 58595800
留言