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XYT晶圆测试平台
XY中空设计,Class100 XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝对定位精度2um T轴为高精度力矩电机,轴向/径向端跳<3um,360度旋转
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产品特性:

XY中空设计,Class100

XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝对定位精度2um

T轴为高精度力矩电机,轴向/径向端跳<3um,360度旋转

典型应用领域:4/6/8寸晶圆检测/测试


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

P72 XYT晶圆测试平台 尺寸图 BTS407.jpg

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