产品特性：

XY中空设计，Class100

XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨

XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um

T轴为高精度力矩电机，轴向/径向端跳＜3um，360度旋转

典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测/测试

*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）