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6轴迷你平台用于光学调平定位
XY为超博直线电机,内置光栅尺,重复定位精度<1um Theta轴为直驱力矩电机,角度调整,内置光栅尺 最上端为3个Z轴音圈电机,特殊算法,内置光栅尺,可以实现上下调焦及超高精度调平
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产品特性:

XY为超博直线电机,内置光栅尺,重复定位精度<1um

Theta轴为直驱力矩电机,角度调整,内置光栅尺

最上端为3个Z轴音圈电机,特殊算法,内置光栅尺,可以实现上下调焦及超高精度调平


典型应用领域:电子元器件精密装配/检测、晶圆检测


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

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