产品特性：
XY为超薄直线电机，内置光栅尺，重复定位精度＜1um
Theta轴为直驱力矩电机，角度调整，内置光栅尺
最上端为3个Z轴音圈电机，特殊算法，内置光栅尺，可以实现上下调焦及超高精度调平
典型应用领域：电子元器件精密装配/检测、晶圆检测
*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）
