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14轴G6.5 大理石平台
用于920mm*1500mm 液晶面板封装
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产品特性:

用于920mm*1500mm 液晶面板封装

机械结构:

    横梁:X1-X5 &Z1-Z5  共10轴   

    大理石底座:双电机驱动+Rz校正+LiftPin设计+陶瓷Chuck盘,4轴

满足激光区域:

XY=1600*1500 mm

Vmax=500 mm/s

Z向静态抖动0.1 μm

XY绝对定位精度±5 μm

机台重量接近14吨,上海工厂生产

大理石平台尺寸:2850*2450*2500 mm典型应用领域:G6.5 OLED 激光封装


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

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