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XYZ 晶圆检测平台
XY十字叠加结构,内置直线电机,步进/扫描 Z轴采用特别设计,用于光学调焦,重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um 底座为采用大理石材料,可以很好的保证下轴超高的平面度
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产品特性:

XY十字叠加结构,内置直线电机,步进/扫描

Z轴采用特别设计,用于光学调焦,重复定位精度±1um

XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um

底座为采用大理石材料,可以很好的保证下轴超高的平面度


典型应用领域:8寸/12寸晶圆检测


*如需详细参数,请联系雅科贝思销售工程师(邮箱:cust-service@akribis-sys.cn)

P85 XYZ晶圆检测平台 尺寸图 BTS420.jpg

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