产品特性：
XY中空设计
XY行程288mm*288mm
XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨
XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝对定位精度2um
典型应用领域：4/6/8寸晶圆检测
*如需详细参数，请联系雅科贝思销售工程师（邮箱：cust-service@akribis-sys.cn）
