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TGS-XY 系列
TGS-XY下轴使用三根导轨达到更好的性能,支持更长长行程的上轴。使用定制的带气管紧凑排线,是半导体行业的理想选择。
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设计特点:

A. 三轨堆叠XY平台 

B. 下轴使用三根导轨,支持更长长行程的上轴

C. 使用定制的带气管紧凑排线


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