Micro LED 缺陷检测
Micro LED缺陷检测设备是用于在制造过程中识别Micro LED晶圆或面板上微小缺陷，如：线路断路、短路、Pad缺损、晶粒 bonding 异常等的高精度仪器，通过拦截坏点提升生产良率，解决Micro LED因芯片微缩化带来的量产难题，可检测亚微米级缺陷，最小1μm，高速扫描能力，如在1小时内可检测600万颗LED，同时支持晶圆级全检。
应用与解决方案
Micro Led 缺陷检测应用
在Micro LED缺陷检测领域，需要确保在高速扫描速度下维持纳米级重复定位精度，避免运动抖动影响亚微米级缺陷成像，多轴动态稳定性。
雅科贝思可以根据客户设备需求提供完整精密平台或者部件级产品解决方案，如：下面是案例根据客户设备需求提供XYZT超精密运动平台，搭配搭配多轴协同控制算法与振动抑制的驱控系统，集成纳米级高分辨率编码器，配备无尘拖链与被动隔振器，支持实时动态补偿技术可提升超精密气浮运动平台的响应速度和定位精度，满足Micro LED缺陷实时检测需求，
●XY轴最大速度：500mm/s
●XYZ轴重复定位精度±0.5μm
●T轴端跳2μm@±15°
●XY轴速度均匀性<1%@100mm/s
未来，随着检测速度提升和直驱能效优化，Micro LED将在AR、车载显示等场景加速落地。
