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OLED激光剥离

激光剥离LLO( Laser Lift Off )是柔性OLED显示面板制造中的一道核心工艺,它利用激光能量分解或削弱柔性基板,如:聚酰亚胺PI,承载玻璃基板之间的结合层或直接作用于界面,从而使柔性面板得以从刚性玻璃基板上分离下来,实现柔性显示器的制作,激光剥离LLO是6代线基板的专用激光加工设备,它通常包括高精度激光系统、精密运动平台、均匀线光斑光学系统、实时监测与控制系统以及自动化处理单元等。

OLED激光剥离

应用与解决方案

OLED激光剥离应用

6代线及更高世代线意味着更大的基板尺寸,为了维持生产节拍,要求运动平台具有高速、高加速度的性能,同时精度要求常在微米甚至亚微米级。

雅科贝思可以根据客户设备要求定制解决方案,如:下面案例是根据6代线OLED激光剥离客户的需求定制的超精密低速度波动大理石气浮运动平台,搭配搭配多轴协同控制算法与振动抑制的驱控系统,集成纳米级高分辨率编码器,支持实时动态补偿技术可提升超精密气浮运动平台的响应速度和定位精度,
●XYZT轴行程2600x2000x10mm&110度
●最大速度1000mm/s
●速度波动2%@10mm/s
●重复定位精度±0.5μm
●直线度10μm
6代线的激光剥离设备是制造柔性OLED面板的关键装备,直驱技术助力其向更高效、更精密、更柔性更进一步。

FPD详情页配图-09.jpg

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