FPD原子力显微镜
FPD工艺流程中的AFM（Atomic Force Microscope原子力显微镜）是一种用于表面质量检测与分析的精密仪器，它主要应用在Array（阵列）制程以及部分Module（模组）制程的检测环节，工作原理是一个对微弱力极敏感的、顶端有极细针尖的弹性微悬臂，通过压电陶瓷控制器等装置使其在样品表面进行精确扫描，针尖尖端原子与样品表面原子之间会产生极微弱的相互作用力，导致微悬臂发生微小的弹性形变，通过检测这种形变量，并利用反馈系统控制针尖与样品的相对位置，就能精确获得样品表面的三维形貌图像，未来，随着FPD线宽进一步缩小和柔性显示发展，对检测精度和速度要求更高，AFM与直驱自动化技术的结合将更加紧密。
应用与解决方案
FPD原子力显微镜应用
AFM主要用于FPD制造过程中的质量检测与控制环节，特别是在Array制程（薄膜晶体管阵列制造）和部分Module制程中，主要是识别和分析纳米尺度的颗粒污染物、划痕、残留物等，帮助定位工艺问题。
雅科贝思可以根据客户机型要求进行定制解决方案，如：下面案例是根据8代线双扫描头原子力显微镜客户的需求定制的超精密高动态陶瓷气浮运动平台，搭配搭配多轴协同控制算法与振动抑制的驱控系统，集成纳米级高分辨率编码器，支持实时动态补偿技术可提升超精密气浮运动平台的动态响应速度和定位精度，
●XYZ轴行程2600x2550x100mm
●重复定位精度 300nm
●直线度/平面度±1μm/±3μm
对于检测FPD大尺寸基板的AFM系统，超精密运动平台以低摩擦与高加速度的快速定位，可以保持极高的平稳性和停止精度，减少振动对扫描成像的干扰，满足FPD产业对高效率、高良率、智能化质量管控的不断追求。
