OLED精细金属掩膜版
OLED FMM（Fine Metal Mask精细金属掩膜版）是OLED面板制造中的关键精密部件，一种带有精密微孔的极薄金属掩模板，用于OLED蒸镀工艺中精确沉积RGB有机发光材料，形成像素，它直接决定着屏幕的分辨率和成像质量，它必须在真空环境下，精准地让红、绿、蓝三种有机发光材料蒸汽通过其上数百万甚至上千万个微米级别的精细孔洞，沉积到玻璃基板（LTPS背板）预先设计好的精确位置上，从而形成我们看到的每一个子像素。
应用与解决方案
OLED精细金属掩膜版应用
FMM的制造涉及双面曝光、蚀刻、检测和封装等 过程，都需要纳米级或微米级的定位精度，随着OLED面板向高世代线 发展，FMM的尺寸也在增大，对搬运、定位、加工设备的行程、速度和精度提出了更高要求。
雅科贝思可以根据客户机型要求进行定制解决方案，如：下面案例是根据OLED精细金属掩膜版客户需求定制超精密高产能陶瓷气浮运动平台，搭配搭配多轴协同控制算法与振动抑制的驱控系统，集成纳米级高分辨率编码器，支持实时动态补偿技术可提升超精密气浮运动平台的动态响应速度和定位精度，
●XY轴行程600x2100mm
●X最大速度1,000mm/s @0.3g, Y最大速度1,000mm/s0.2g
●重复定位精度500nm
●动态直线度&平面度<±1.5um @ 100mm/sec
OLED FMM是OLED屏幕精准呈现亿万色彩不可或缺的“精密模具”，其制造技术是显示领域的核心技术壁垒之一，雅科贝思提供直驱精密运动平台产品可以成功地应对FMM制造中面临的精度、稳定性和效率挑战，推动FMM工艺向更高水平发展，最终为生产出更清晰、更鲜艳、更大尺寸的OLED屏幕提供关键技术支撑。
