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雅科贝思

直驱气浮转台

直驱气浮转台是搭载自研高扭矩密度电机与直驱技术,以无接触气浮轴承实现低摩擦、无磨损无背隙,兼具高动态响应与低齿槽力,能在半导体超精加工、医疗检测中提供长期稳定高精度回转的核心设备。

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重置

额定扭矩(Nm)

台面尺寸(mm)

φ
φ

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最大转速(rpm)

轴向回转精度(μm)

径向回转精度(μm)

定位精度(arcsec)

±
±

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