直驱气浮转台
直驱气浮转台是搭载自研高扭矩密度电机与直驱技术,以无接触气浮轴承实现低摩擦、无磨损无背隙,兼具高动态响应与低齿槽力,能在半导体超精加工、医疗检测中提供长期稳定高精度回转的核心设备。
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直驱气浮转台是搭载自研高扭矩密度电机与直驱技术,以无接触气浮轴承实现低摩擦、无磨损无背隙,兼具高动态响应与低齿槽力,能在半导体超精加工、医疗检测中提供长期稳定高精度回转的核心设备。
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